Основы технологии электронной компонентной базы. Учебно-методическое пособие
Рабинович О.И., Крутогин Д.Г., Маренкин С.Ф., Подгорная С.В.
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.04.04 – «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, и может быть полезно при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
年:
2015
出版社:
МИСиС
言語:
russian
ファイル:
PDF, 1.96 MB
IPFS:
,
russian, 2015